罗茨真空泵属于容积式增压真空泵，内部装有一对同步反向旋转的罗茨转子，两个转子互不接触、精密啮合，运转间隙极小。

罗茨真空泵是如何工作的？

吸气过程

电机带动一对8 字型罗茨转子高速反向旋转，泵腔进气口容积不断扩大，将工艺气体吸入转子与泵体的容腔内部。

气体隔离输送

转子持续转动，把吸入的气体完全隔离封闭，转子之间、转子与泵壳无摩擦接触，不压缩气体、无油润滑，实现无油洁净抽气。

强制排气增压

随着转子继续旋转，封闭气腔转向排气侧，结合前级真空泵形成负压压差，气体被强制挤压输送至前级泵，再由前级泵排出大气。

连续循环

转子不间断循环旋转，源源不断完成吸气 — 隔离 — 输送 — 排气全过程，实现大流量、快速稳定抽气，完成中高真空增压作业。