油位与油品：对于有油真空泵（旋片泵、齿轮泵），查看油位是否在油标上下限之间，油液需清澈无乳化、无发黑变质；无油真空泵（干式螺杆真空泵）重点检查齿轮箱润滑油状态。

阀门与管路：确认进气阀关闭、出气阀打开，管路接头无松动、无漏气痕迹；进气端过滤器无明显堵塞。

盘车检查：手动转动电机风扇 2~3 圈，感受泵内转子 / 旋片转动是否顺畅，无卡滞、异响。

电气与冷却：检查电源接地是否可靠，风冷型风扇无积尘，水冷型冷却水进出口阀门打开、管路无漏水。

真空度：通过真空计观察数值是否稳定，若真空度突然下降，优先排查管路漏气或过滤器堵塞。

温度：泵体外壳温度不烫手（一般≤80℃），有油真空泵油温不超过规定值（通常 60~70℃），温度过高需停机检查冷却系统。

振动与噪音：运行时无尖锐异响、无剧烈振动，若出现异常，立即停机排查转子间隙、轴承磨损等问题。

电机电流：电流值在额定范围内，避免过载运行。

正常停机时，先关进气阀，空载运行 3~5 分钟再断电，排出泵内残留气体。

清理泵体表面灰尘、油污，保持设备整洁；水冷型需待泵体降温后再关冷却水。

长期停机（超过 1 周）需关闭进气阀门，放空泵内气体，防止潮气凝结损坏内部部件