吸气阶段:两根阴阳螺杆高速反向旋转,啮合间隙形成的密闭腔室从进气口扩张,吸入气体。
压缩阶段:腔室随螺杆旋转逐渐向排气口移动,容积不断缩小,气体被压缩升压。
排气阶段:当腔室与排气口连通,压缩后的气体在压力作用下排出泵体,完成一次抽气循环。
依赖螺杆间的精密间隙密封,无需润滑油,实现无油抽气。
连续啮合旋转形成稳定腔室,抽气过程平稳,无脉冲波动。
螺杆的螺旋结构决定抽气速率,螺杆真空泵适配不同真空度需求。